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適用于質(zhì)量流量計(jì)以及質(zhì)量流量控制器的氣體流量轉(zhuǎn)換系數(shù)

更新時(shí)間：2022-09-23 點(diǎn)擊次數(shù)：7537

有些用戶在使用質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器的過程中，會(huì)涉及到需要轉(zhuǎn)換不同的氣體介質(zhì)。

但不同氣體的特性是不同的，所以不同氣體顯示出的體積流量也會(huì)有差別，這種差別需要通

過氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)換算，因此在更換氣體后，為了使質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器顯示其正確

的體積流量（標(biāo)方，標(biāo)升、毫升等單位），需要針對相應(yīng)的氣體介質(zhì)，調(diào)整氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)。

以下是部分氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)：

氣體	代號	比熱（卡/克℃）	密度（克/升0℃）	轉(zhuǎn)換系數(shù)
Air 空氣	008	0.2400	1.2930	1.006
Ar 氬氣	004	0.1250	1.7837	1.415
AsH3 砷烷	035	0.1168	3.4780	0.673
BBr3 三溴化硼	079	0.0647	11.1800	0.378
BCl3 三氯化硼	070	0.1217	5.2270	0.430
BF3 三氟化硼	048	0.1779	3.0250	0.508
B2H6 硼烷	058	0.5020	1.2350	0.441
CCl4 四氯化碳	101	0.1297	6.8600	0.307
CF4 四氟化碳	063	0.1659	3.9636	0.420
CH4 甲烷	028	0.5318	0.7150	0.719
C2H2 乙炔	042	0.4049	1.1620	0.581
C2H4 乙烯	038	0.3658	1.2510	0.598
C2H6 乙烷	054	0.4241	1.3420	0.481
C3H4 丙炔	068	0.3633	1.7870	0.421
C3H6 丙烯	069	0.3659	1.8770	0.398
C3H8 丙烷	089	0.3990	1.9670	0.348
C4H6 丁炔	093	0.3515	2.4130	0.322
C4H8 丁烯	104	0.3723	2.5030	0.294
C4H10 丁烷	111	0.4130	2.5930	0.255
C5H12 戊烷	240	0.3916	3.2190	0.217
CH3OH 甲醇	176	0.3277	1.4300	0.584
C2H6O 乙醇	136	0.3398	2.0550	0.392
C2H3Cl3 三氯乙烷	112	0.1654	5.9500	0.278
CO 一氧化碳	009	0.2488	1.2500	1.000
CO2 二氧化碳	025	0.2017	1.9640	0.737
C2N2 氰氣	059	0.2608	2.3220	0.452
Cl2 氯氣	019	0.1145	3.1630	0.858
D2 氘氣	014	1.7325	0.1798	0.998
F2 氟氣	018	0.1970	1.6950	0.931
GeCl4 四氯化鍺	113	0.1072	9.5650	0.267
GeH4 鍺烷	043	0.1405	3.4180	0.569
H2 氫氣	007	3.4224	0.0899	1.010
HBr 溴化氫	010	0.0861	3.6100	1.000
HCl 氯化氫	011	0.1911	1.6270	1.000
HF 氟化氫	012	0.3482	0.8930	1.000
HI 碘化氫	017	0.0545	5.7070	0.999
H2S 硫化氫	022	0.2278	1.5200	0.844
He 氦氣	001	1.2418	0.1786	1.415
Kr 氪氣	005	0.0593	3.7390	1.415
N2 氮?dú)?/span>	013	0.2468	1.2500	1.000
Ne 氖氣	002	0.2464	0.9000	1.415
NH3 氨氣	029	0.5005	0.7600	0.719
NO 一氧化氮	016	0.2378	1.3390	0.976
NO2 二氧化氮	026	0.1923	2.0520	0.741
N2O 一氧化二氮	027	0.2098	1.9640	0.709
O2 氧氣	015	0.2196	1.4270	0.992
PCl3 三氯化磷	193	0.1247	6.1270	0.358
PH3 磷烷	031	0.2610	1.5170	0.691
PF5 五氟化磷	143	0.1611	5.6200	0.302
POCl3 三氯氧磷	102	0.1324	6.8450	0.302
SiCl4 四氯化硅	108	0.1270	7.5847	0.284
SiF4 四氟化硅	088	0.1692	4.6430	0.348
SiH4 硅烷	039	0.3189	1.4330	0.599
SiH2Cl2 二氯氫硅	067	0.1472	4.5060	0.412
SiHCl3 三氯氫硅	147	0.1332	6.0430	0.340
SF6 六氟化硫	110	0.1588	6.5160	0.264
SO2 二氧化硫	032	0.1489	2.8580	0.687
TiCl4 四氯化鈦	114	0.1572	8.4650	0.206
WF6 六氟化鎢	121	0.0956	13.2900	0.215
Xe 氙氣	006	0.0397	5.8580	1.415

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適用于質(zhì)量流量計(jì)以及質(zhì)量流量控制器的氣體流量轉(zhuǎn)換系數(shù)